Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. .Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
Go to description and details| Publisher | МГТУ им. Н.Э. Баумана |
| Pages | 122 |
| Language | Русский |
| ISBN | 978-5-7038-4864-7 |
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. .Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
| Publisher | МГТУ им. Н.Э. Баумана |
| Pages | 122 |
| Language | Русский |
| ISBN | 978-5-7038-4864-7 |
| Cover | обл - мягкий переплет (крепление скрепкой или клеем) |
| Paper | Офсет |
| Illustrations | Черно-белые + цветные |
| Dimensions | 165 × 6 × 235 mm |
| Weight, g | 209 |
