Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной т








В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники — вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, /-координатных исполнительных устройств, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств, а также вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений, газовыделения и др. .Соответствует актуальным требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования. .Учебник рассчитан на широкий круг студенческой аудитории, занимающейся изучением оборудования электронной техники, может быть использован инженерно-техническими и научными работниками при конструировании оборудования и приборов для работы в условиях пониженного атмосферного давления и вакуума, а также дестабилизирующего воздействия факторов космического пространства. .
Go to description and details| Publisher | Юрайт |
| Series | Авторский учебник |
| Pages | 369 |
| Language | Русский |
| ISBN | 978-5-534-03196-6 |
В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники — вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, /-координатных исполнительных устройств, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств, а также вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений, газовыделения и др. .Соответствует актуальным требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования. .Учебник рассчитан на широкий круг студенческой аудитории, занимающейся изучением оборудования электронной техники, может быть использован инженерно-техническими и научными работниками при конструировании оборудования и приборов для работы в условиях пониженного атмосферного давления и вакуума, а также дестабилизирующего воздействия факторов космического пространства. .
| Publisher | Юрайт |
| Series | Авторский учебник |
| Pages | 369 |
| Language | Русский |
| ISBN | 978-5-534-03196-6 |
| Cover | Твёрдый переплёт |
| Dimensions | 145 × 20 × 215 mm |
| Weight, g | 460 |