Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
+1
Soon
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Go to description and details| Publisher | Инфра-Инженерия |
| Pages | 204 |
| Language | Русский |
| ISBN | 978-5-9729-0846-2 |
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
| Publisher | Инфра-Инженерия |
| Pages | 204 |
| Language | Русский |
| ISBN | 978-5-9729-0846-2 |
| Cover | Твёрдый переплёт |
| Paper | Офсет |
| Illustrations | Черно-белые |
| Dimensions | 153 × 15 × 216 mm |
| Weight, g | 360 |
