Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
+1
Soon
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Go to description and details| Publisher | Инфра-Инженерия |
| Publication year | 2022 |
| ISBN | 978-5-9729-0846-2 |
| Weight, g | 410 |
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
| Publisher | Инфра-Инженерия |
| Publication year | 2022 |
| ISBN | 978-5-9729-0846-2 |
| Weight, g | 410 |
