Технология интегральных микросхем








Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", профиль "Конструирование и технология электронных средств".
Go to description and details| Publisher | Инфра-Инженерия |
| Pages | 244 |
| Language | Русский |
| ISBN | 978-5-9729-1232-2 |
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", профиль "Конструирование и технология электронных средств".
| Publisher | Инфра-Инженерия |
| Pages | 244 |
| Language | Русский |
| ISBN | 978-5-9729-1232-2 |
| Cover | Твёрдый переплёт |
| Paper | Офсет |
| Illustrations | Черно-белые |
| Dimensions | 153 × 18 × 217 mm |
| Weight, g | 410 |