Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 1. От минерального сырья к монокристаллу








Рассмотрены основные процессы подготовки исходного сырья и синтеза полупроводниковых материалов. Приводятся методики расчета технологических условий получения легированных полупроводниковых монокристаллов. Предложены задачи для самостоятельного углубленного изучения дисциплины. Приведены справочные данные, необходимые для проведения расчетов. Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».
Go to description and details| Publisher | Лань |
| Series | Радиоэлектроника и приборостроение |
| Pages | 172 |
| Language | Русский |
| ISBN | 978-5-507-45479-2 |
Рассмотрены основные процессы подготовки исходного сырья и синтеза полупроводниковых материалов. Приводятся методики расчета технологических условий получения легированных полупроводниковых монокристаллов. Предложены задачи для самостоятельного углубленного изучения дисциплины. Приведены справочные данные, необходимые для проведения расчетов. Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».
| Publisher | Лань |
| Series | Радиоэлектроника и приборостроение |
| Pages | 172 |
| Language | Русский |
| ISBN | 978-5-507-45479-2 |
| Cover | 7Бц - твердая, целлофанированная (или лакированная) |
| Paper | Офсет |
| Illustrations | Черно-белые |
| Dimensions | 170 × 240 × 13 mm |
| Weight, g | 355 |