Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки








Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».
Go to description and details| Publisher | Лань |
| Series | Радиоэлектроника и приборостроение |
| Pages | 216 |
| Language | Русский |
| ISBN | 978-5-507-45480-8 |
Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».
| Publisher | Лань |
| Series | Радиоэлектроника и приборостроение |
| Pages | 216 |
| Language | Русский |
| ISBN | 978-5-507-45480-8 |
| Cover | 7Бц - твердая, целлофанированная (или лакированная) |
| Paper | Офсет |
| Illustrations | Черно-белые |
| Dimensions | 170 × 243 × 13 mm |
| Weight, g | 412 |