Лазерная технология в производстве изделий электронной техники СВЧ-диапазона: учебное пособие

Показано применение лазерной технологии в производстве твердотельных электронных приборов на основе монолитных, гибридных интегральных схем и электровакуумных приборов СВЧ-диапазона. Для студентов очной, очно-заочной и заочной форм образования квалификации «бакалавр», «магистр», обучающихся по направлениям 11.03.03, 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств» и 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника»; дисциплины: «Технология производства электронных средств», «Основы проектирования электронной компонентной базы», «Технология электронной компонентной базы», аспирантов и повышения квалификации инженерно-технических работников радиотехнических специальностей.