Наноэлектроника. Учебное пособие

Рассматриваются тенденции развития микро- и наноэлектроники, виды нанотехнологий и перспективы производства наноэлектронных изделий. Показаны наноизделия, пригодные для внедрения в инфокоммуникационных системах, состояние и перспективы развития микро и наноэлектромеханических систем, медицинские и биологические аспекты производства нанопродукции. Для студентов, магистрантов, аспирантов, а также преподавателей и инженерно-технических работников, связанных с разработкой и использованием аппаратуры, выполненной на основе микро- и наноэлектронной элементных баз. Будет полезно специалистам, работающим в области телекоммуникаций и наноэлектроники.