Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
+1
Скоро
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Перейти к описанию и характеристикам| Издательство | Инфра-Инженерия |
| Страниц | 204 |
| Язык | Русский |
| ISBN | 978-5-9729-0846-2 |
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
| Издательство | Инфра-Инженерия |
| Страниц | 204 |
| Язык | Русский |
| ISBN | 978-5-9729-0846-2 |
| Обложка | Твёрдый переплёт |
| Бумага | Офсет |
| Иллюстрации | Черно-белые |
| Размеры | 153 × 15 × 216 mm |
| Вес, г | 360 |
