Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
+1
Скоро
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Перейти к описанию и характеристикам| Издательство | Инфра-Инженерия |
| Год издания | 2022 |
| ISBN | 978-5-9729-0846-2 |
| Вес, г | 410 |
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
| Издательство | Инфра-Инженерия |
| Год издания | 2022 |
| ISBN | 978-5-9729-0846-2 |
| Вес, г | 410 |
