Технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
Скоро
В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. .Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»...
Перейти к описанию и характеристикам| Издательство | Ай Пи Эр Медиа |
| Серия | Университетский учебник |
| Год издания | 2019 |
| ISBN | 978-5-4486-0210-8 |
| Вес, г | 519 |
В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. .Предназначено для студентов, обучающихс ...
| Издательство | Ай Пи Эр Медиа |
| Серия | Университетский учебник |
| Год издания | 2019 |
| ISBN | 978-5-4486-0210-8 |
| Вес, г | 519 |
