Технология интегральных микросхем








Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", профиль "Конструирование и технология электронных средств".
Перейти к описанию и характеристикам| Издательство | Инфра-Инженерия |
| Страниц | 244 |
| Язык | Русский |
| ISBN | 978-5-9729-1232-2 |
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", профиль "Конструирование и технология электронных средств".
| Издательство | Инфра-Инженерия |
| Страниц | 244 |
| Язык | Русский |
| ISBN | 978-5-9729-1232-2 |
| Обложка | Твёрдый переплёт |
| Бумага | Офсет |
| Иллюстрации | Черно-белые |
| Размеры | 153 × 18 × 217 mm |
| Вес, г | 410 |