Технология интегральных микросхем








Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", профиль "Конструирование и технология электронных средств".
Перейти к описанию и характеристикам| Издательство | Инфра-Инженерия |
| Год издания | 2023 |
| ISBN | 978-5-9729-1232-2 |
| Вес, г | 460 |
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", профиль "Конструирование и технология электронных средств".
| Издательство | Инфра-Инженерия |
| Год издания | 2023 |
| ISBN | 978-5-9729-1232-2 |
| Вес, г | 460 |